真空泵是用以产生、改善和维持真空的装置。
现代真空技术能获得的气体压强为大气压至10-11Pa的真空。这是一个非常大的真空范围,而且各个真空应用部门所涉及的工作压强的范围不尽相同,因此任何一种类型的真空泵都不可能完全适用,现今只能根据不同的工作压强范围和不同的工作要求,使用不同类型的真空泵来创造需要的真空环境。为了使用方便以及经济性的要求,有时将各种真空泵按其性能要求结合起来,以真空机组形式出现。
按工作原理,真空泵基本上分为气体传输泵及气体捕集泵两种类:
常用的气体传输泵有:
往复真空泵、无油涡旋真空泵、旋片真空泵、定片真空泵、滑阀真空泵、液(水)环真空泵、罗茨真空泵、分子泵、喷射泵、扩散泵、油增压泵等。
常用的气体捕集泵有:
吸附泵、离子泵、低温泵、吸气剂泵等。