1.真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求
　　通常真空泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。
　　如：真空镀膜要求1×10-5 Torr的真空度，真空泵的真空度至少要5×10-6 Torr。
　　另外真空泵要尽可能在高效区内，也就是在临界真空度或临界排气压力的区域内运行。
　　应避免在最大真空度或最大排气压力附近运行。在此区域内运行，不仅效率极低，而且工作很不稳定，易产生振动和噪音。对于真空度较高的真空泵而言，在此区域之内运行，往往还会发生汽蚀现象，产生这种现象的明显标志是泵内有噪音和振动。汽蚀会导致泵体、叶轮等零件的损坏，以致泵无法工作。

　　2.正确地选择真空泵的工作点
　　每种泵都有一定的工作压力范围，如：扩散泵为10-3～10-7 Torr，在这样宽压力范围内，泵的抽速随压力而变化，其稳定的工作压力范围为5×10-4～5×10-6 Torr。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内，而不能让它在10-8 Torr下长期工作。又如钛升华泵可以在10-2 Torr下工作，但其工作压力应小于1×10-5 Torr为好。

　　3.真空泵在其工作压力下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。

　　4.正确地组合真空泵
　　由于真空泵有选择性抽气，因此当泵所需的气体压力不高时，可优先在单级泵中选取。
如果排气压力较高，单级泵往往不能满足，或者要求泵在较低压力下仍有较大气量，即要求性能曲线在较低压力时较平坦，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的压力。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压力低于大气压力，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。
　　如果只作真空泵用，则选用单作用泵比较好。因为单作用泵的构造简单，容易制造和维护，且在低压力情况下抗汽蚀性好。
　　如果仅作较大气量的压缩机使用，则选用真空压缩机比较合适。因为真空压缩机排气量大，体积小，重量轻，径向力能得到自动平衡，轴不容易产生疲劳断裂，泵的使用寿命较长。

　　5.真空设备对油污染的要求
若设备要求无油时，应该选各种无油泵，如：无油涡旋真空泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵、水环泵等。

　　6.确定被抽气体成分 
　　选择真空泵时，要明确气体成分、气体中有无可凝蒸汽、有无颗粒灰尘、有无腐蚀性等。选择真空泵时，要对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸汽、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如汽水分离器、除尘器等。

　　7.确定真空泵排出来的蒸汽对部环境的影响 
　　如果环境不允许有污染，要选无油真空泵，或者把油蒸汽排到室外处理。

　　8.确定真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响 
　　若工艺过程不允许有振动，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。

　　9.确定真空泵的价格、运转及维修费用
　　选择泵时，不但要考虑采购成本，还要考虑运行成本及维修费用，综合考虑，才能确定生产成本，选出真正质优价廉的真空泵，要选择：
　　最小的投资费用。
　　最小的生产运行费用。
　　将前两种情况合理均匀分配的可行方案。

　　10.真空泵的最佳工作范围：
　　无油涡旋真空泵：105～1 Pa
　　罗茨泵：102～1 Pa
　　油封机械泵：105～1 Pa
　　油扩散泵：5×10-2～10-4 Pa